Доклады и статьи конференции

← Назад | Перейти в архив

Карточка работы #3989

Название
Исследование газовыделения распыляемых мишеней MoS2
Год
2024
Организация
Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)
Секция
11 - Электронные технологии в машиностроении
Авторы
Ван Синьсинь
Хлобыстин Никита Андреевич
Илларионов Алексей Иванович
Курс обучения
Аспирант (1 год) (аспирантура)
Научный руководитель
Беликов Андрей Иванович (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Н.Э.Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")
Аннотация
В данной работе подготовлен вакуумный экспериментальный стенд и отработана методика для количественной оценки характеристик газовыделения из распыляемых мишеней. Полученные результаты могут послужить основой для дальнейших углубленных исследований газовыделения распыляемых мишеней MoS2 и внедрения улучшений в процесс получения пленок.
Тезисы
Дополнительные материалы
Библиографическая
ссылка
Ван С. ., Хлобыстин Н. А., Илларионов А. И. Исследование газовыделения распыляемых мишеней MoS2. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 22 – 26 апреля, 2024, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2024.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=3989 (дата обращения: 20.07.2024)
Если Вы обнаружили ошибку - пожалуйста, напишите нам
Сопредседатель оргкомитета конференции
Гладков Ю.А.