Анализ проблем при формировании многослойных покрытий для изделий наноинженерии

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Третий (бакалавриат)

Сидорова Светлана Владимировна (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Н.Э.Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

В работе представлен обзор многослойных тонкопленочных покрытий в области создания планарных оптических волноводов. Рассмотрен принцип действия, конфигурация и используемые материалы для создания планарного оптического волновода. Проведен анализ технологии и выявлены проблемы, которые ухудшают физические характеристики устройства. Проведена оценка влияния остаточных напряжений при формировании топологии планарного оптического волновода. Рассмотрено влияние ионной обработки на снижение остаточных напряжений между подложкой и диэлектрическим слоем.

Купцов А. Д., Середин Д. П. Анализ проблем при формировании многослойных покрытий для изделий наноинженерии. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 22 – 26 апреля, 2024, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2024.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=4162 (дата обращения: 03.07.2024)