Технология формирования наноразмерных структур методами плазмохимического травления для изделий наноплазмоники

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Шестой (специалитет)

Моисеев Константин Михайлович (Кандидат наук, МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

В рамках данной работы проведено сравнение различных конфигураций установок ПХТ для травления плазмонного материала (серебра), предложены и экспериментально реализованы два основных варианта проведения технологической операции: травление через жесткую маску оксида кремния и через резистивную маску соответственно.

Смирнов Ю. Н., Филиппов И. А., Зверев А. В. Технология формирования наноразмерных структур методами плазмохимического травления для изделий наноплазмоники. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 5 – 8 апреля, 2016, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2016.– № гос. регистрации 0321601363.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=1557 (дата обращения: 17.05.2024).– Загл. с экрана.