Методы борьбы с артефактами, возникающими при сканировании кремния при помощи АСМ

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Нелюб Милена Сергеевна

Третий (бакалавриат)

Фокин Денис Александрович (Кандидат наук, МГТУ им. Н. Э. Баумана, НОЦ "Функциональные Микро Наносистемы" )

При сканировании кремниевой подложки на атомно-силовом микроскопе наблюдаются артефакты изображения, связанные с накоплением электростатического заряда между подложкой и зондом. Возникающие кулоновские силы отталкивания приводят, в свою очередь, к ложному детектированию изменения топографии. В работе представлены некоторые методы борьбы с этим явлением