Свойства, применение и методы получения пленок 2D-MoS₂

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Ли Луяо

Пятый (магистратура)

Беликов Андрей Иванович (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

Выполнен обзор исследований двумерных пленок дисульфида молибдена (2D-MoS₂). Рассмотрены физические свойства: зависимость запрещенной зоны от числа слоев, высокая подвижность носителей и экситонные эффекты. Проанализированы методы получения пленок MoS₂: механическое отслаивание, CVD, PVD и магнетронное распыление. Показана связь метода синтеза с качеством материала. Отмечены перспективы применения 2D-MoS₂ в транзисторах, фотодетекторах и гибкой электронике, а также технологические проблемы коммерческого внедрения.