Изучение строения и исследование свойств тонких пленок MoS₂

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Тайгужинова Айша Нурлановна

Первый (бакалавриат)

Беликов Андрей Иванович (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

В работе приведены особенности строения слоистой кристаллической структуры дисульфида молибдена (MoS₂), наделяющей его уникальными свойствами твёрдого смазочного материала для вакуума. Области традиционного применения тонких пленок MoS₂ связаны с узлами трения и вакуумными механизмами, однако, к настоящему времени они дополнены сферами электроники, где важны полупроводниковые свойства этого перспективного материала. Рассмотрены методы осаждения покрытий MoS₂, включая PVD, CVD и ALD. Приведены исследования электрического сопротивления тонких плёнок.