Определение геометрии островковых слоев для датчиков магнитных полей

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Третий (бакалавриат)

Сидорова Светлана Владимировна (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

В работе рассматривается проблема создания чувствительных элементов для датчиков магнитного поля на основе тонкопленочных структур. Приведены результаты анализа принципов работы датчиков магнитных полей, показаны диапазоны геометрических параметров чувствительных элементов. Проанализированы материалы для формирования чувствительных слоев датчика. Показано, что островковые тонкопленочные слои в сравнении со сплошными слоями повышают чувствительность датчика. Выбраны диапазоны размеров, при которых структура сохраняет однодоменность.