Оценка неравномерности поверхностного сопротивления пленок ITO по подложке

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Третий (бакалавриат)

Хыдырова Селби Юсуповна (МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

В работе показана актуальность формирования тонких пленок ITO с равномерной толщиной. Проведено экспериментальное исследование неравномерности поверхностного сопротивления сформированной магнетронным распылением. Поверхностное сопротивление составило от 126 до 725 Ом/кв. Полученные результаты могут быть использованы для изменения параметров нанесения чтобы улучшить равномерность покрытия.

Фетисов И. С., Романов С. С. Оценка неравномерности поверхностного сопротивления пленок ITO по подложке. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 14 – 18 апреля, 2025, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2025.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=4597 (дата обращения: 03.04.2025)