Температурный контроль в тонкоплёночных технологиях с помощью ПИД-регулятора

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Третий (бакалавриат)

Хыдырова Селби Юсуповна (МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

В данной работе рассматривается необходимость контроля температуры в процессе нанесения тонкоплёночных покрытий. В работе описано устройство ПИД-регулятора, методы его настройки. Представлена интеграция ПИД-регулятора в систему контроля температуры.

Мавлявиев Т. И., Попков М. Г. Температурный контроль в тонкоплёночных технологиях с помощью ПИД-регулятора. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 14 – 18 апреля, 2025, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2025.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=4596 (дата обращения: 03.04.2025)