Исследование влияния очистки подложек на свойства тонких плёнок ITO, полученных магнетронным распылением

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Романов Сергей Сергеевич

Третий (бакалавриат)

Хыдырова Сельби Юсуповна (МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

В работе исследовано влияние очистки подложек на свойства тонких плёнок ITO. Проведена серия экспериментов с различной очисткой, измерено поверхностное сопротивление полученных образцов.

Романов С. С. Исследование влияния очистки подложек на свойства тонких плёнок ITO, полученных магнетронным распылением. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 14 – 18 апреля, 2025, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2025.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=4594 (дата обращения: 03.04.2025)