Сравнение методик измерения поверхностного сопротивления тонкопленочного слоя меди на ПВДФ пленке

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Четвёртый (бакалавриат)

Моисеев Константин Михайлович (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

В статье представлена тема контроля поверхностного сопротивления тонкопленочного слоя меди, полученного методом магнетронного распыления. Описаны следующие методики измерения поверхностного сопротивления: Четырехзондовый метод Кельвина и метод ван дер Пау. Представлен эксперимент по сравнению значений поверхностного сопротивления, полученного двумя методами.

Кислов К. А., Макарова К. Т. Сравнение методик измерения поверхностного сопротивления тонкопленочного слоя меди на ПВДФ пленке. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 14 – 18 апреля, 2025, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2025.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=4579 (дата обращения: 03.04.2025)