Разработка компоновки технологической системы магнетронного осаждения покрытий на внутреннюю резьбу с использованием компьютерного моделирования

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Мишкинис Андрей Романович

Третий (бакалавриат)

Беликов Андрей Иванович (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Н.Э.Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

В работе представлены результаты моделирования процесса магнетронного распыления планарной мишени MoS2 для осаждения покрытий на внутреннюю резьбу детали проекта ИТЭР. Моделирование выполнялось с использованием программы «TFDepositionR». На основе полученных результатов была определена оптимальная компоновка элементов конструкции технологической оснастки для нанесения покрытий с требуемой равномерностью.

Мишкинис А. Р. Разработка компоновки технологической системы магнетронного осаждения покрытий на внутреннюю резьбу с использованием компьютерного моделирования. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 22 – 26 апреля, 2024, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2024.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=4118 (дата обращения: 03.07.2024)