Разработка технологической системы для нанесения тонких пленок MoS2 методом магнетронного распыления на подогреваемые подложки

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Второй (магистратура)

Беликов Андрей Иванович (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Н.Э.Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

В работе приведен анализ различных вариантов исполнения подложкодержателя оснастки с подогревом для установки магнетронного нанесения тонких пленок. Выполнен тепловой расчет конструкции подложкодержателя. Реализованная оснастка на основе инфракрасного излучателя и медного подложкодержателя обеспечивает нагрев подложек до температур более 350 ºС. Конструкция технологической системы обеспечивает варьирование такими параметрами процесса, как угол наклона и расстояние от магнетрона до подложки.

Шептырёва Э. Д., Доломанжи А. А. Разработка технологической системы для нанесения тонких пленок MoS2 методом магнетронного распыления на подогреваемые подложки. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 22 – 26 апреля, 2024, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2024.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=4111 (дата обращения: 03.07.2024)