Ионно-плазменная обработка внутренних поверхностей ЭВП

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Толкунова Анастасия Вадимовна

Четвёртый (бакалавриат)

Михайлов Валерий Павлович (Доктор наук, Профессор, МГТУ им. Н.Э.Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

В работе исследована возможность совершенствования технологии изготовления электровакуумных приборов за счет применения ионно-плазменной обработки. Показаны источники характерных загрязнений, оказывающих наибольшее влияние на работоспособность и длительность технологического процесса откачки приборов. Проанализированы способы очистки деталей ЭВП. Определены преимущества и недостатки метода обработки внутренних поверхностей приборов в тлеющем разряде. Представлены экспериментальные данные по подбору режимов очистки медных деталей с помощью НЧ-разряда в среде аргона.

Толкунова А. В. Ионно-плазменная обработка внутренних поверхностей ЭВП. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 22 – 26 апреля, 2024, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2024.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=4091 (дата обращения: 03.07.2024)