Доклады и статьи конференции

← Назад | Перейти в архив

Карточка работы #4076

Название
Исследование неравномерности поверхностного сопротивления плёнки ниобия (Nb)
Год
2024
Организация
Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)
Секция
11 - Электронные технологии в машиностроении
Автор
Гусейнов Бегляр Рауфович
Курс обучения
Третий (бакалавриат)
Научный руководитель
Хыдырова Сельби Юсуповна (МГТУ им. Н.Э.Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")
Аннотация
В работе исследована экспериментально неравномерность поверхностного сопротивления сформированной магнетронным распылением плёнки Nb на подложке диаметром 4'' при различной скорости вращения подложкодержателя 15 об/мин. Определены требования к скорости вращения подложкодержателя для обеспечения неравномерности поверхностного сопротивления по подложке менее 5%.
Тезисы
Дополнительные материалы
Библиографическая
ссылка
Гусейнов Б. Р. Исследование неравномерности поверхностного сопротивления плёнки ниобия (Nb). [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 22 – 26 апреля, 2024, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2024.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=4076 (дата обращения: 20.07.2024)
Если Вы обнаружили ошибку - пожалуйста, напишите нам
Сопредседатель оргкомитета конференции
Гладков Ю.А.