Доклады и статьи конференции

← Назад | Перейти в архив

Карточка работы #3984

Название
Газовый сенсор с островковыми наноструктурами
Год
2024
Организация
Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)
Секция
11 - Электронные технологии в машиностроении
Авторы
Наумова Анастасия Михайловна
Кирьянов Сергей Владимирович
Курс обучения
Третий (бакалавриат)
Научный руководитель
Сидорова Светлана Владимировна (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Н.Э.Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")
Аннотация
В данной статье представлена актуальность применения газовых сенсоров. Описан принцип работы MOS-сенсоров. Проиллюстрирована принципиальная схема поперечного сечения газового MOS-сенсора с нагревателем. Указаны преимущества внедрения островковых тонких пленок в газовые сенсоры. Рассмотрено оборудование для нанесения чувствительного островкового слоя на подложку газового сенсора. Определен метод формирования островкового слоя. Отработаны режимы формирования островкового слоя. Приведен план дальнейших исследований.
Тезисы
Дополнительные материалы
Библиографическая
ссылка
Наумова А. М., Кирьянов С. В. Газовый сенсор с островковыми наноструктурами. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 22 – 26 апреля, 2024, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2024.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=3984 (дата обращения: 20.07.2024)
Если Вы обнаружили ошибку - пожалуйста, напишите нам
Сопредседатель оргкомитета конференции
Гладков Ю.А.