Моделирование магнетронного осаждения на детали сложной формы

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Алиханов Орхан Эльдар оглы

Второй (магистратура)

А.И. Беликов (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

Результаты показали, что реальные значения меньше расчетных на одну и ту же величину – в среднем в 1.43 раза. Данный коэффициент можно объяснить неточностью расчета скорости распыления, которая прямо пропорционально влияет на толщину получаемого покрытия. Теоретический расчет скорости распыления не учитывает энергии каждого атома в отдельности, коэффициенты прилипания и энергии сублимации молекул также требуют уточнения. Таким образом, в модели возникает постоянное отклонение, определяемое постоянным коэффициентом.

Алиханов О. Э. Моделирование магнетронного осаждения на детали сложной формы. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 3 – 7 апреля, 2023, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2023.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=3863 (дата обращения: 14.10.2024)