Исследование влияния плазменной обработки на поверхность оксида алюминия

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Мальцев Владислав Сергеевич

Первый (магистратура)

Сидорова Светлана Владимировна (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Н.Э.Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

В данной работе исследовано влияние плазменной обработки на структуру оксида алюминия. Приведены рентгеногоаммы подтверждающие изменение структуры. Объяснено влияние добавления кислорода в газовую смесь при плазменной обработке Al2O3.

Мальцев В. С. Исследование влияния плазменной обработки на поверхность оксида алюминия. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 3 – 7 апреля, 2023, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2023.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=3858 (дата обращения: 11.05.2025)