Доклады и статьи конференции

← Назад | Перейти в архив

Карточка работы #3776

Название
Влияние мощности магнетрона на скорость осаждения ниобия
Год
2023
Организация
Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)
Секция
11 - Электронные технологии в машиностроении
Автор
Зимина Полина Сергеевна
Курс обучения
Третий (бакалавриат)
Научный руководитель
Моисеев Константин Михайлович (Кандидат наук, МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")
Аннотация
На установке ВУП-11М проведен эксперимент по магнетронному напылению ниобия на кварцевый резонатор при различных значениях мощности магнетрона. В работе проанализировано влияние мощности на скорость осаждения ниобия.
Тезисы
Скачать pdf-файл (222 кБ)
Библиографическая
ссылка
Если Вы обнаружили ошибку - пожалуйста, напишите нам
Сопредседатель оргкомитета конференции
Гладков Ю.А.