Влияние мощности магнетрона на скорость осаждения ниобия

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Зимина Полина Сергеевна

Третий (бакалавриат)

Моисеев Константин Михайлович (Кандидат наук, МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

На установке ВУП-11М проведен эксперимент по магнетронному напылению ниобия на кварцевый резонатор при различных значениях мощности магнетрона. В работе проанализировано влияние мощности на скорость осаждения ниобия.

Зимина П. С. Влияние мощности магнетрона на скорость осаждения ниобия. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 3 – 7 апреля, 2023, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2023.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=3776 (дата обращения: 11.05.2025)