Ионно-плазменные методы в технологии производства планарных частотных фильтров

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Второй (магистратура)

Сидорова Светлана Владимировна (Кандидат наук, МГТУ им Н.Э. Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

Применение ионно-плазменный технологий для производства частотных фильтров. Изготовление микрополосковых частотных фильтров методами ионного травления, магнетронного распыления и фотолитографии.

Пименов И. Е., Купцов А. Д., Руденко А. М. Ионно-плазменные методы в технологии производства планарных частотных фильтров. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 3 – 7 апреля, 2023, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2023.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=3775 (дата обращения: 11.05.2025)