Доклады и статьи конференции
← Назад | Перейти в архивКарточка работы #3775
Название
Ионно-плазменные методы в технологии производства планарных частотных фильтров
Организация
Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)
Секция
11 - Электронные технологии в машиностроении
Авторы
Пименов Илья Евгеньевич
Купцов Алексей Дмитриевич
Руденко Андрей Михайлович
Курс обучения
Второй (магистратура)
Научный руководитель
Сидорова Светлана Владимировна (Кандидат наук, МГТУ им Н.Э. Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")
Аннотация
Применение ионно-плазменный технологий для производства частотных фильтров. Изготовление микрополосковых частотных фильтров методами ионного травления, магнетронного распыления и фотолитографии.
Библиографическая
ссылка
ссылка
Пименов И. Е., Купцов А. Д., Руденко А. М. Ионно-плазменные методы в технологии производства планарных частотных фильтров. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 3 – 7 апреля, 2023, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2023.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=3775 (дата обращения: 26.12.2024)
Если Вы обнаружили ошибку - пожалуйста, напишите нам
Сопредседатель оргкомитета конференции
Гладков Ю.А.