Доклады и статьи конференции
← Назад | Перейти в архивКарточка работы #3773
Название
Исследование особенностей формирования островковых тонких пленок Ni для внедрения в устройства наноэлектроники
Организация
Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)
Секция
11 - Электронные технологии в машиностроении
Автор
Кирьянов Сергей Владимирович
Курс обучения
Четвёртый (бакалавриат)
Научный руководитель
Сидорова Светлана Владимировна (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Баумана, кафедра «Электронные технологии в машиностроении»)
Аннотация
Содержит результаты исследований нанесения островковых тонких пленок никеля методом термического испарения, получены графические зависимости туннельного тока от времени формирования покрытия и параметры структур ОТП никеля. Также представлены рекомендуемые режимы нанесения островковой тонкой пленки никеля методом термического испарения.
Библиографическая
ссылка
ссылка
Кирьянов С. В. Исследование особенностей формирования островковых тонких пленок Ni для внедрения в устройства наноэлектроники. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 3 – 7 апреля, 2023, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2023.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=3773 (дата обращения: 11.05.2025)
Если Вы обнаружили ошибку - пожалуйста, напишите нам
Сопредседатель оргкомитета конференции
Гладков Ю.А.