Исследование особенностей формирования островковых тонких пленок Ni для внедрения в устройства наноэлектроники

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Кирьянов Сергей Владимирович

Четвёртый (бакалавриат)

Сидорова Светлана Владимировна (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Баумана, кафедра «Электронные технологии в машиностроении»)

Содержит результаты исследований нанесения островковых тонких пленок никеля методом термического испарения, получены графические зависимости туннельного тока от времени формирования покрытия и параметры структур ОТП никеля. Также представлены рекомендуемые режимы нанесения островковой тонкой пленки никеля методом термического испарения.