Оптические свойства пленок MoS2, получаемых на керамических основаниях методом импульсного лазерного осаждения (PLD)

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

12 - Лазерные технологии в машиностроении

Поспелов Алексей Алексеевич

Аспирант (1 год) (аспирантура)

Шупенев Александр Евгеньевич (Кандидат наук, МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра "Лазерные технологии в машиностроении")

Пленки на основе дисульфида молибдена, полученные на керамических основаниях, могут быть использованы в различных измерителях энергии оптического излучения, ввиду их особых оптических свойств и лучевой стойкости. Для получения тонкой пленки был использован эксимерный KrF лазер. Эксперименты проводились с варьированием температуры и давления в камере. Для полученных на текстурированных подложках покрытий были измерены спектральная характеристика отражения и стойкость под воздействием лазерного излучения. Сделаны выводы о влиянии технологических параметров процесса на свойства покрытия.