Доклады и статьи конференции

← Назад | Перейти в архив

Карточка работы #3561

Название
Особенности фокусировки электронного пучка для микроразмерной обработки материалов электронной техники
Год
2022
Организация
Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)
Секция
11 - Электронные технологии в машиностроении
Автор
Махкамбоев Карим Абдурасулович
Курс обучения
Четвёртый (бакалавриат)
Научный руководитель
Моисеев Константин Михайлович (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")
Аннотация
Статья посвящена особенностям фокусировки электронного пучка для микроразмерной электронно-лучевой обработки. Описаны основные способы фокусировки электронного пучка. Выявлены основные влияющие факторы на степень фокусировки электронного пучка.
Тезисы
Библиографическая
ссылка
Махкамбоев К. А. Особенности фокусировки электронного пучка для микроразмерной обработки материалов электронной техники. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 4 – 8 апреля, 2022, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2022.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=3561 (дата обращения: 26.11.2022)
Если Вы обнаружили ошибку - пожалуйста, напишите нам
Сопредседатель оргкомитета конференции
Гладков Ю.А.