Доклады и статьи конференции

← Назад | Перейти в архив

Карточка работы #3470

Название
Влияние состава газовой среды и мощности плазмы пониженного давления на поверхностное сопротивление пленок WSi
Год
2022
Организация
Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)
Секция
11 - Электронные технологии в машиностроении
Авторы
Пряничникова Дарья Максимовна
Басов Богдан Алексеевич
Курс обучения
Третий (бакалавриат)
Научный руководитель
Васильев Денис Дмитриевич (Кандидат наук, МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")
Аннотация
Работа посвящена экспериментальному определению зависимости изменения поверхностного сопротивления пленок WSi от мощности плазмы пониженного давления и состава газовой смеси. Измерена скорость изменения поверхностного сопротивления пленок WSi от мощности плазмы пониженного давления частотой 13,56 МГц в диапазоне 0..150 Вт и состава газовой смеси из аргона и кислорода. Рассчитана модель скорости изменения поверхностного сопротивления пленок WSi в зависимости от варьируемых параметров.
Тезисы
Библиографическая
ссылка
Пряничникова Д. М., Басов Б. А. Влияние состава газовой среды и мощности плазмы пониженного давления на поверхностное сопротивление пленок WSi. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 4 – 8 апреля, 2022, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2022.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=3470 (дата обращения: 26.11.2022)
Если Вы обнаружили ошибку - пожалуйста, напишите нам
Сопредседатель оргкомитета конференции
Гладков Ю.А.