Доклады и статьи конференции

← Назад | Перейти в архив

Карточка работы #3356

Название
Снижение вероятности пробоя тонких диэлектрических покрытий на металлических поверхностях
Год
2022
Организация
Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)
Секция
11 - Электронные технологии в машиностроении
Авторы
Егорова Светлана Игоревна
Купцов Алексей Дмитриевич
Курс обучения
Первый (магистратура)
Научный руководитель
Сидорова Светлана Владимировна (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")
Аннотация
Рассмотрено влияние шероховатости металлических поверхностей на вероятность диэлектрического пробоя. Представлены и проанализированы экспериментальные данные по влиянию параметров ионного травления на шероховатость поверхности. Определен режим ионной обработки для снижения шероховатости металлических подложек.
Тезисы
Библиографическая
ссылка
Егорова С. И., Купцов А. Д. Снижение вероятности пробоя тонких диэлектрических покрытий на металлических поверхностях. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 4 – 8 апреля, 2022, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2022.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=3356 (дата обращения: 29.06.2022)
Если Вы обнаружили ошибку - пожалуйста, напишите нам
Сопредседатель оргкомитета конференции
Гладков Ю.А.