Доклады и статьи конференции

← Назад | Перейти в архив

Карточка работы #1662

Название
Микроэлектромеханические устройства. Акселерометры и гироскопы
Год
2016
Организация
Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)
Секция
11 - Электронные технологии в машиностроении
Авторы
Андроник Михаил Михайлович
Бочков Сергей Дмитриевич
Габидуллин Айдар Радикович
Доброносова Алина Александровна
Жулева Татьяна Сергеевна
Макарова Юлия Сергеевна
Метелев Александр Сергеевич
Самадов Бахруллохуджа Баходурович
Самарцев Алексей Станиславович
Тюлькова Анастасия Александровна
Шамшединов Роман Харисович
Янчелик Анна Эрнестовна
Курс обучения
Первый (магистратура)
Научный руководитель
Цветков Юрий Борисович (Доктор наук, Профессор, МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")
Аннотация
В работе проанализирован рынок производства микроэлектромеханических (МЭМС) систем, рассмотрены устройства, включающие в себя МЭМС и разобран физический принцип действия. Проведена классификация наиболее часто встречающихся устройств (акселерометров и гироскопов) и кратко описан принцип действия каждого. Проведен патентный поиск, на основе которого предложены технологии изготовления функциональных элементов рассматриваемых устройств. Для разработанных технологий было подобрано оборудование, позволяющее осуществить их реализацию и спроектирован участок чистого производственного помещения.
Текст статьи
Библиографическая
ссылка
Андроник М. М., Бочков С. Д., Габидуллин А. Р., Доброносова А. А., Жулева Т. С., Макарова Ю. С., Метелев А. С., Самадов Б. Б., Самарцев А. С., Тюлькова А. А., Шамшединов Р. Х., Янчелик А. Э. Микроэлектромеханические устройства. Акселерометры и гироскопы. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 5 – 8 апреля, 2016, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2016.– № гос. регистрации 0321601363.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=1662 (дата обращения: 20.07.2024).– Загл. с экрана.
Если Вы обнаружили ошибку - пожалуйста, напишите нам
Сопредседатель оргкомитета конференции
Гладков Ю.А.