Геттерная откачка электровакуумных приборов

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Бычкова Мария Сергеевна

Первый (магистратура)

Бычков Сергей Павлович (МТ-11 "Электронные технологии в машиностроении")

Остроактуальной задачей при создании малогабаритных электровакуумных приборов является максимальное удешевление их производства при сохранении требуемого уровня вакуума в течение всего срока эксплуатации. Перспективным является использование геттерной и геттерно-ионной откачки с применением распыляемых и нераспыляемых газопоглотителей. В работе рассматриваются подходы к расчету конструкции, видов, размеров и количества активного вещества распыляемых и нераспыляемых газопоглотителей, которые обеспечат требуемое качество вакуума на протяжении всего срока службы прибора.

Бычкова М. С. Геттерная откачка электровакуумных приборов. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 7 – 10 апреля, 2015, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2015.– № гос. регистрации 0321501427.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=1268 (дата обращения: 20.07.2025).– Загл. с экрана.