Доклады и статьи конференции

← Назад | Перейти в архив

Карточка работы #1234

Название
Монтаж и запуск жидкофазного магнетрона НМСА50 на установке МВТУ-11-1
Год
2015
Организация
Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)
Секция
11 - Электронные технологии в машиностроении
Авторы
Макарова Мария Владимировна
Бабурин Александр Сергеевич
Курс обучения
Третий (бакалавриат)
Научный руководитель
Моисеев Константин Михайлович (Кандидат наук, МГТУ им.Н.Э.Баумана, каф. МТ11)
Аннотация
Рассмотрена конструкция жидкофазного магнетрона НМСА-50, смонтированного на установке МВТУ-11-1. Проведены работы по его запуску, выявлены причины, влияющие на стабильность горения разряда. Внесены изменения в конструкцию магнетрона, реализовано дросселирование откачки. В результате реализованы технологические условия стабильной работы жидкофазного магнетрона и получены медные тонкопленочные покрытия.
Тезисы
Текст статьи
Библиографическая
ссылка
Макарова М. В., Бабурин А. С. Монтаж и запуск жидкофазного магнетрона НМСА50 на установке МВТУ-11-1. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 7 – 10 апреля, 2015, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2015.– № гос. регистрации 0321501427.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=1234 (дата обращения: 28.11.2021).– Загл. с экрана.
Если Вы обнаружили ошибку - пожалуйста, напишите нам
Сопредседатель оргкомитета конференции
Гладков Ю.А.