Доклады и статьи конференции

← Назад | Перейти в архив

Карточка работы #2412

Название
Анализ технологических особенностей метода высоко-импульсного магнетронного нанесения тонких пленок
Год
2018
Организация
Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)
Секция
11 - Электронные технологии в машиностроении
Автор
Сиков Антон Вадимович
Курс обучения
Третий (бакалавриат)
Научный руководитель
Беликов Андрей Иванович (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")
Аннотация
Произведен анализ технологических особенностей магнетронного высоко-импульсного нанесения тонких пленок, рассмотрены технологические возможности и преимущества данного метода, приведены области его применения.
Тезисы
Библиографическая
ссылка
Сиков А. В. Анализ технологических особенностей метода высоко-импульсного магнетронного нанесения тонких пленок. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 3 – 6 апреля, 2018, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2018.– № гос. регистрации 0321800963.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=2412 (дата обращения: 17.11.2018)
Если Вы обнаружили ошибку - пожалуйста, напишите нам
Сопредседатель оргкомитета конференции
Гладков Ю.А.