Доклады и статьи конференции

← Назад | Перейти в архив

Карточка работы #2398

Название
Назначение и принцип действия вакуумного модуля сканирующего зондового микроскопа в установке "Нанофаб-100"
Год
2018
Организация
Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)
Секция
11 - Электронные технологии в машиностроении
Автор
Новиков Дмитрий Васильевич
Курс обучения
Третий (бакалавриат)
Научный руководитель
Панфилов Юрий Васильевич (Доктор наук, Профессор, МГТУ им. Н. Э. Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")
Аннотация
Модуль Сканирующего Зондового Микроскопа комплекса (СЗМ) НАНОФАБ 100 предназначен для исследования поверхностей пластин, имеющих диаметр до 100 мм, и позволяет реализовывать более 40 методик измерения поверхностных характеристик подложек при сверхвысоком вакууме. Разработанная специально для этого модуля система смены зондовых головок позволяет оперативно заменять рабочий зонд СЗМ без нарушения условий сверхвысокого вакуума. Координатно-связанная прецизионная система позиционирования подложек позволяет находить и исследовать созданные в других модулях системы нанообъекты.
Тезисы
Библиографическая
ссылка
Новиков Д. В. Назначение и принцип действия вакуумного модуля сканирующего зондового микроскопа в установке "Нанофаб-100". [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 3 – 6 апреля, 2018, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2018.– № гос. регистрации 0321800963.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=2398 (дата обращения: 16.07.2018)
Если Вы обнаружили ошибку - пожалуйста, напишите нам
Сопредседатель оргкомитета конференции
Гладков Ю.А.