Доклады и статьи конференции

← Назад | Перейти в архив

Карточка работы #2392

Название
Анализ возможностей сверхвысоковакуумного модуля фокусированных ионных пучков нанообработки
Год
2018
Организация
Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)
Секция
11 - Электронные технологии в машиностроении
Автор
Картушин Леонид Леонидович
Курс обучения
Третий (бакалавриат)
Научный руководитель
Панфилов Юрий Васильевич (Доктор наук, Профессор, МГТУ им. Н. Э. Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")
Аннотация
В данной статье рассмотрен механизм работы сверхвысоковакуумного модуля фокусированных ионных пучков нанообработки. Описаны режимы операций локального нанесения, ионной имплантации, локального роста, очистки поверхности. Приведен разбор принципа действия и усройства моделя ФИП.
Тезисы
Библиографическая
ссылка
Картушин Л. Л. Анализ возможностей сверхвысоковакуумного модуля фокусированных ионных пучков нанообработки. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 3 – 6 апреля, 2018, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2018.– № гос. регистрации 0321800963.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=2392 (дата обращения: 17.11.2018)
Если Вы обнаружили ошибку - пожалуйста, напишите нам
Сопредседатель оргкомитета конференции
Гладков Ю.А.