Получение тонких пленок методом лазерного осаждения и исследование их свойств

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

12 - Лазерные технологии в машиностроении

Четвёртый (специалитет)

Шупенев Александр Евгеньевич (МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра "Лазерные технологии в машиностроении")

Рассмотрена зависимость качества и толщины тонких пленок, наносимых методом лазерного парофазного осаждения, в зависимости от различных параметров. Показано, что основное влияние на качество покрытия оказывает способ очистки подложки перед напылением, а на толщину слоя - энергоемкость процесса. На основании проведенного процесса предлагается наилучший метод очистки, а так же зависимость толщины покрытия от энергетических параметров процесса.

Пономаренко С. Л., Кривошеев А. В. Получение тонких пленок методом лазерного осаждения и исследование их свойств. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 3 – 6 апреля, 2018, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2018.– № гос. регистрации 0321800963.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=2316 (дата обращения: 17.02.2019)