Доклады и статьи конференции

← Назад | Перейти в архив

Карточка работы #2160

Название
Отработка режимов формирования в вакууме тонкопленочных покрытий
Год
2018
Организация
Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)
Секция
11 - Электронные технологии в машиностроении
Автор
Исаева Анастасия Александровна
Курс обучения
Третий (бакалавриат)
Научный руководитель
Сидорова Светлана Владимировна (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Н. Э. Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")
Аннотация
Рассмотрены приборы и устройства на основе островковых тонких пленок и наноструктур, выявлены их основные преимущества. Проведены экспериментальные исследования отработки режимов формирования тонких пленок меди методом термического испарения в вакууме на вакуумной установке модульного типа УВН-1М. Оценены топологические характеристики полученных образцов с помощью атомно-силового микроскопа. В результате анализа полученных данных построена адекватная математическая модель, которая может применяться для прогнозирования толщин тонких пленок в зависимости от параметров нанесения.
Тезисы
Библиографическая
ссылка
Исаева А. А. Отработка режимов формирования в вакууме тонкопленочных покрытий. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 3 – 6 апреля, 2018, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2018.– № гос. регистрации 0321800963.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=2160 (дата обращения: 17.11.2018)
Если Вы обнаружили ошибку - пожалуйста, напишите нам
Сопредседатель оргкомитета конференции
Гладков Ю.А.