Контроль сопротивления тонкопленочного покрытия в режиме реального времени

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Федюнин Артем Павлович

Первый (магистратура)

Рябов Владимир Тимофеевич (Доцент, МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

В статье приведены методы контроля толщины тонкопленочного покрытия в процессе его нанесения, рассмотрен контроль толщины проводящей пленки через ее электрическое сопротивление. По данному методу контроля предложена электрическая измерительная система, которая ориентирована на контроль получения островковых наноразмерных структур и встраивается в подложкодержатель внутрикамерной оснастки. Проведены эксперименты по измерению текущего сопротивления тонкой пленки в течение технологического процесса.

Федюнин А. П. Контроль сопротивления тонкопленочного покрытия в режиме реального времени. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 4 – 7 апреля, 2017, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2017.– № гос. регистрации 0321701287.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=1956 (дата обращения: 22.11.2024).– Загл. с экрана.