Микроэлектромеханические устройства. Акселерометры и гироскопы

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Первый (магистратура)

Цветков Юрий Борисович (Доктор наук, Профессор, МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

В работе проанализирован рынок производства микроэлектромеханических (МЭМС) систем, рассмотрены устройства, включающие в себя МЭМС и разобран физический принцип действия. Проведена классификация наиболее часто встречающихся устройств (акселерометров и гироскопов) и кратко описан принцип действия каждого. Проведен патентный поиск, на основе которого предложены технологии изготовления функциональных элементов рассматриваемых устройств. Для разработанных технологий было подобрано оборудование, позволяющее осуществить их реализацию и спроектирован участок чистого производственного помещения.

Андроник М. М., Бочков С. Д., Габидуллин А. Р., Доброносова А. А., Жулева Т. С., Макарова Ю. С., Метелев А. С., Самадов Б. Б., Самарцев А. С., Тюлькова А. А., Шамшединов Р. Х., Янчелик А. Э. Микроэлектромеханические устройства. Акселерометры и гироскопы. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 5 – 8 апреля, 2016, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2016.– № гос. регистрации 0321601363.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=1662 (дата обращения: 22.11.2024).– Загл. с экрана.