Доклады и статьи конференции

← Назад | Перейти в архив

Карточка работы #1487

Название
Применение пленок ITO и выбор метода их формирования
Год
2016
Организация
Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)
Секция
11 - Электронные технологии в машиностроении
Авторы
Москалев Дмитрий Олегович
Васильев Денис Дмитриевич
Курс обучения
Третий (бакалавриат)
Научный руководитель
Моисеев Константин Михайлович (Кандидат наук, МГТУ им. Н.Э.Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")
Аннотация
В статье рассматривается применение пленок оксида индий-олова, а также методы их нанесения в вакууме. На основе литературных источников выявлены факторы, влияющие на характеристики пленок. Проведены эксперименты по запуску магнетрона с мишенью ITO и первому нанесению покрытия на стеклянные подложки. Измерены толщина, коэффициент пропускания и поверхностное сопротивление пленки.
Тезисы
Текст статьи
Библиографическая
ссылка
Москалев Д. О., Васильев Д. Д. Применение пленок ITO и выбор метода их формирования. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 5 – 8 апреля, 2016, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2016.– № гос. регистрации 0321601363.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=1487 (дата обращения: 24.09.2017).– Загл. с экрана.
Если Вы обнаружили ошибку - пожалуйста, напишите нам
Сопредседатель оргкомитета конференции
Гладков Ю.А.