Применение пленок ITO и выбор метода их формирования

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Третий (бакалавриат)

Моисеев Константин Михайлович (Кандидат наук, МГТУ им. Н.Э.Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

В статье рассматривается применение пленок оксида индий-олова, а также методы их нанесения в вакууме. На основе литературных источников выявлены факторы, влияющие на характеристики пленок. Проведены эксперименты по запуску магнетрона с мишенью ITO и первому нанесению покрытия на стеклянные подложки. Измерены толщина, коэффициент пропускания и поверхностное сопротивление пленки.

Москалев Д. О., Васильев Д. Д. Применение пленок ITO и выбор метода их формирования. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 5 – 8 апреля, 2016, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2016.– № гос. регистрации 0321601363.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=1487 (дата обращения: 17.05.2024).– Загл. с экрана.