Монтаж и запуск жидкофазного магнетрона НМСА50 на установке МВТУ-11-1

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Третий (бакалавриат)

Моисеев Константин Михайлович (Кандидат наук, МГТУ им.Н.Э.Баумана, каф. МТ11)

Рассмотрена конструкция жидкофазного магнетрона НМСА-50, смонтированного на установке МВТУ-11-1. Проведены работы по его запуску, выявлены причины, влияющие на стабильность горения разряда. Внесены изменения в конструкцию магнетрона, реализовано дросселирование откачки. В результате реализованы технологические условия стабильной работы жидкофазного магнетрона и получены медные тонкопленочные покрытия.

Макарова М. В., Бабурин А. С. Монтаж и запуск жидкофазного магнетрона НМСА50 на установке МВТУ-11-1. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 7 – 10 апреля, 2015, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2015.– № гос. регистрации 0321501427.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=1234 (дата обращения: 13.05.2024).– Загл. с экрана.