Доклады и статьи конференции
← Назад | Перейти в архивКарточка работы #1028
Название
Исследование состава остаточной атмосферы в рабочей камере установки МВТУ-11-1
Организация
Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)
Секция
11 - Электронные технологии в машиностроении
Авторы
Смирнов Юрий Николаевич
Бабурин Александр Сергеевич
Моисеев Константин Михайлович
Курс обучения
Четвёртый (специалитет)
Научный руководитель
Моисеев Константин Михайлович (Кандидат наук, МТ11)
Аннотация
В статье описывается процесс исследования остаточной газовой среды рабочей камеры установки МВТУ-11-1 с помощью квадрупольного масс-спектрометра Extorr 200. Получены количественные показатели значения парциальных давлений остаточных газов, в том числе при подключенных газовых линейках.
Библиографическая
ссылка
ссылка
Смирнов Ю. Н., Бабурин А. С., Моисеев К. М. Исследование состава остаточной атмосферы в рабочей камере установки МВТУ-11-1. [Электронный ресурс] // Труды Всероссийской научно-технической конференции «Студенческая весна 2014: Машиностроительные технологии».– М.: МГТУ им. Н.Э Баумана.– № гос. регистрации 0321400749.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=1028 (дата обращения: 23.11.2024).– Загл. с экрана.
Если Вы обнаружили ошибку - пожалуйста, напишите нам
Сопредседатель оргкомитета конференции
Гладков Ю.А.